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市面上最小的ALD，可放進手套箱，來自美國哈佛的原子層沉積系統(tǒng)$n兼容高溫的快速脈沖 ALD 閥，具有超快 MFC，用于集成惰性氣體吹掃。

勻膠機有很多種稱謂，英文叫SpinCoater或者SpinProcessor，又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉(zhuǎn)涂膠機、旋轉(zhuǎn)涂膜機、旋轉(zhuǎn)涂層機、旋轉(zhuǎn)涂布機、旋轉(zhuǎn)薄膜機、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機，總的來說，他們原理都是一樣的，即在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)

小批量應用的流延機，適合250mm載帶寬度，采取重力供應漿料方式

CAM-C系列流延機面向較少資金投入的客戶設(shè)計，提供了更高的自動化水平，更高的精度和緊湊型設(shè)計，是一個真正創(chuàng)新型流延機

PICOSUN R-200 標準型ALD系統(tǒng)，PICOSUN®R-200標準ALD系統(tǒng)適用于數(shù)十種應用的研發(fā)，例如IC組件、MEMS器件、顯示器、LED、激光和3D對象，例如透鏡、光學器件、珠寶、硬幣和醫(yī)療植入物